DRK8090 Photoelectric Profaili

Irinṣẹ yii gba ti kii ṣe olubasọrọ, ọna wiwọn interferometric alakoso opiti, ko ba dada ti workpiece lakoko wiwọn, le yara wiwọn awọn aworan onisẹpo mẹta ti micro-topography dada ti ọpọlọpọ awọn iṣẹ ṣiṣe, ati itupalẹ ati ṣe iṣiro wiwọn. esi.

ọja Apejuwe
Awọn ẹya ara ẹrọ: Dara fun wiwọn roughness dada ti ọpọlọpọ awọn bulọọki iwọn ati awọn ẹya opiti; Ijinle ti reticle ti alakoso ati ipe kiakia; awọn sisanra ti awọn ti a bo ti awọn grating yara be ati awọn mofoloji be ti awọn ti a bo ààlà; awọn dada ti awọn oofa (opitika) disk ati awọn oofa ori Iwọn wiwọn; Silikoni wafer roughness ati wiwọn ilana apẹrẹ, ati bẹbẹ lọ.
Nitori iṣedede wiwọn giga ti ohun elo, o ni awọn abuda ti kii ṣe olubasọrọ ati wiwọn onisẹpo mẹta, ati gba iṣakoso kọnputa ati itupalẹ iyara ati iṣiro awọn abajade wiwọn. Irinṣẹ yii dara fun gbogbo awọn ipele ti idanwo ati awọn iwọn iwadii wiwọn, ile-iṣẹ ati awọn yara wiwọn ile-iṣẹ iwakusa, awọn idanileko ṣiṣe deede, ati pe o dara fun Awọn ile-ẹkọ ti ẹkọ giga ati awọn ile-iṣẹ iwadii imọ-jinlẹ, ati bẹbẹ lọ.
Awọn ifilelẹ imọ-ẹrọ akọkọ
Idiwọn ibiti o ti dada airi unevenness ijinle
Lori dada ti nlọsiwaju, nigbati ko ba si iyipada giga lojiji ti o tobi ju 1/4 weful gigun laarin awọn piksẹli meji to sunmọ: 1000-1nm
Nigbati iyipada giga ba wa ti o tobi ju 1/4 ti igbi gigun laarin awọn piksẹli to sunmọ meji: 130-1nm
Atunṣe wiwọn: δRa ≤0.5nm
Ifojusi lẹnsi titobi: 40X
Iho oni nọmba: % 65
Ijinna iṣẹ: 0.5mm
Ohun elo aaye wiwo Visual: Φ0.25mm
Fọto: 0.13× 0.13mm
Imudara Irinse Visual: 500×
Aworan (ṣe akiyesi nipasẹ iboju kọmputa) -2500×
Eto wiwọn olugba: 1000X1000
Iwọn Pixel: 5.2× 5.2µm
Ayẹwo akoko wiwọn (ṣayẹwo) akoko: 1S
Iṣatunṣe digi boṣewa irinse (giga): 50%
Ifojusi (kekere): ～4%
orisun ina: Ohu fitila 6V 5W
Gigun àlẹmọ kikọlu alawọ ewe: λ≒530nm
Iwọn idaji λ≒10nm
Maikirosikopu akọkọ gbe: 110 mm
Tabili gbe soke: 5 mm
Ibiti gbigbe ni itọsọna X ati Y: 10 mm
Yiyi ibiti o ti worktable: 360°
Pulọọgi ibiti o ti ṣiṣẹ tabili: ± 6°
Eto Kọmputa: P4, 2.8G tabi diẹ ẹ sii, ifihan iboju alapin 17-inch pẹlu 1G tabi iranti diẹ sii